据路透社20日报道,荷兰阿斯麦公司(ASML)正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机,每台售价约4亿美元。路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道,新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。这些高管说,顶级芯片供应商准备最早2025年开始使用上述产品的量产机。
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